拋光機(jī)設(shè)備加工設(shè)備及其部件

　　精密和超精密加工設(shè)備廣泛應(yīng)用于各種加工設(shè)備，如各種精密機(jī)床、超精密機(jī)床、激光加工機(jī)床、精密電火花加工機(jī)床、離子束加工機(jī)床、以及涂層、涂層等加工設(shè)備。對(duì)于切削設(shè)備而言，以超精密車床為代表的機(jī)床，用于加工各種軸類、圓盤類和曲面類零件等的研磨拋光機(jī)仍是一種重要的精密加工設(shè)備，用于加工圓柱、孔類、平面類的精密加工需要?？傊芗庸ず统芗庸ぴO(shè)備應(yīng)具有以下要求: (1)精度高，包括靜態(tài)精度和動(dòng)態(tài)精度高，主要性能指標(biāo)是幾何精度、運(yùn)動(dòng)精度(定位精度、重復(fù)定位精度)和分辨率，如主軸回轉(zhuǎn)精度、導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度、分度精度等。目前，超精密車床的主軸回轉(zhuǎn)精度大多為0.02 ~ 0.03 um，導(dǎo)軌直線度為0.025萬，定位精度為0.013 pm，重復(fù)定位精度為0.006 pm，進(jìn)給分辨率為0.003 pm，精度為0.5 pm?，F(xiàn)代精密機(jī)床和超精密機(jī)床大多采用靜壓軸承或空氣靜壓軸承主軸和導(dǎo)軌，精密滾珠絲杠傳動(dòng)，配有微型工作臺(tái)、誤差補(bǔ)償裝置，實(shí)現(xiàn)微位移。對(duì)于高速旋轉(zhuǎn)的零件，零件應(yīng)是動(dòng)平衡的。

　　高剛度包括靜剛度和動(dòng)剛度。除了考慮零件的剛度外，還應(yīng)考慮接觸剛度，以及由工件、機(jī)床、刀具和夾具組成的加工系統(tǒng)的剛度。精密機(jī)床和超精密機(jī)床的切削力雖然很小，但機(jī)床的變形對(duì)精度影響很大。(三)運(yùn)輸、貯存、安裝、調(diào)試后，在規(guī)定的工作環(huán)境下使用，具有高度穩(wěn)定性和可維護(hù)性的設(shè)備，應(yīng)能長(zhǎng)期保持其準(zhǔn)確性、抗干擾性和穩(wěn)定性。因此，加工設(shè)備應(yīng)具有良好的耐磨性、抗振性、熱穩(wěn)定性。(4)高度自動(dòng)化為了確保加工質(zhì)量和減少人為因素的影響，現(xiàn)代精密機(jī)床和超精密機(jī)床都配備了精密數(shù)控系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，或者利用電腦控制來實(shí)現(xiàn)自適應(yīng)控制、優(yōu)化，以確保零件的生產(chǎn)和加工要求。

　　精密加工和超精密加工設(shè)備與其基本零部件密切相關(guān)。一方面，只有優(yōu)秀的基礎(chǔ)零部件才能擁有優(yōu)秀的加工設(shè)備，因此，世界各國(guó)都十分重視基礎(chǔ)零部件的開發(fā)和研究，以不斷提高精密加工和超精密加工設(shè)備的水平，擴(kuò)大其應(yīng)用范圍，優(yōu)秀的基礎(chǔ)零部件系列能夠快速響應(yīng)市場(chǎng)需求，縮短精密加工和超精密加工設(shè)備的開發(fā)周期。目前，主軸及其軸承、導(dǎo)軌及其滾動(dòng)部件(滾動(dòng)直線導(dǎo)軌)、滾珠絲杠、光柵、激光檢測(cè)裝置、微位移裝置、分度轉(zhuǎn)臺(tái)等基本部件和零件發(fā)展迅速，出現(xiàn)了主軸單元、進(jìn)給單元等部件形式。主軸單元包括主軸、軸承、電機(jī)和主軸箱，形成獨(dú)立機(jī)構(gòu)，主軸與電機(jī)軸均為一體，電機(jī)為變頻電機(jī)，無級(jí)調(diào)速，代替整個(gè)主軸部件，進(jìn)給單元是導(dǎo)軌、滾珠絲杠、伺服電機(jī)、位置檢測(cè)等共同獨(dú)立運(yùn)動(dòng)。近年來出現(xiàn)了直線電機(jī)進(jìn)給伺服單元，簡(jiǎn)稱直線電機(jī)、直線電機(jī)、滾動(dòng)導(dǎo)軌和光柵檢測(cè)裝置組合成一個(gè)獨(dú)立的機(jī)構(gòu)，可以直接獲得直線運(yùn)動(dòng)，不需要從旋轉(zhuǎn)到直線運(yùn)動(dòng)的連接。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，精度高，可廣泛應(yīng)用于各種機(jī)床和加工中心。